潽拓——VARIAN分子泵，分子泵

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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      分子泵对不同的气体的抽速和压缩比是有显著不同的。压缩比描述的是分子泵对特定气体的压缩能力。在分子泵的排气口压力保持不变的情况下，对压缩比比较大的分子泵来说，气体分子由排气口返流回进气口的量较小，反之，则返流较大。

    在分子泵刚刚开始工作的阶段，由于有大量的气体由进气口被抽到排气口，所以这种返流对实际抽速带来的影响不是很大，而随着进气口压力的下降，分子泵抽下来的气体量在减少，这时，气体返流对抽速的影响也就大起来了。这就是分子泵对小分子气体，特别是氢气的抽气能力较差的原因。